采納離子阱或冷凝擋油阱預(yù)防抽氣零碎的返油
采納離子阱
離子阱的構(gòu)造原理如圖21所示,正常將離子阱裝置在油封機(jī)械真空泵的出口管路上。離子阱是利用冷負(fù)極磁場(chǎng)束縛氣體尖端放電的原理,在一個(gè)水冷圓柱狀負(fù)極筒的核心拔出一根棒狀陽極(Ua=3kV),由一環(huán)狀永遠(yuǎn)磁石提供一個(gè)軸向磁場(chǎng)。離子阱作業(yè)在10～10-2Pa壓力規(guī)模內(nèi),那末尖端放電強(qiáng)度剩余大,當(dāng)油蒸氣分子穿過尖端放電空間時(shí),將被電子和離子轟廝打成碎片。而后在電極名義上聚合生成高分子量的碳?xì)涔虘B(tài)膜。
(a)橫截面的電子軌跡(b)構(gòu)造示用意
圖21離子阱原理示用意
圖22示出一種帶水冷隔板的離子阱原理圖。阱由陽極、負(fù)極、水冷板及磁鋼組成。陽極接3kV正低壓,負(fù)極是阱殼體(接地)磁鋼裝在殼體里面,水冷板在于殼省外部,對(duì)著電泵的抽氣口。
圖22帶水冷隔板離子阱原理圖
電泵作業(yè)時(shí),返流的油蒸氣碰到阱內(nèi)的水冷板后,被反照到阱的殼體壁上。因?yàn)殛枠O與負(fù)極之間有3kV的直流正低壓,電極之間能夠產(chǎn)慪氣體尖端放電,尖端放電構(gòu)成的電子在由阱內(nèi)部磁鋼產(chǎn)生的磁場(chǎng)的疏導(dǎo)下繼續(xù)電鉆形靜止,使被抽氣體更為無效地水解。水解產(chǎn)生的離子在磁場(chǎng)作用下,打到負(fù)極(殼體壁)上,把已沉積在殼體壁上的油分子轟擊成碎片,并產(chǎn)生聚合物吸附在阱的內(nèi)壁上。
離子阱的擋油效率可達(dá)99%,這種阱運(yùn)用保護(hù)容易,但構(gòu)造比擬簡(jiǎn)單。設(shè)置冷凝擋油阱
在零碎的前級(jí)管路上設(shè)置高溫冷凝阱拿獲電泵返流的油蒸汽分子,高溫冷凝阱的擋油率因冷阱的多少何形態(tài)而異。關(guān)于低流導(dǎo)的液氮阱,擋油率乃至可達(dá)成99.9%。但半超導(dǎo)體致冷冷阱,對(duì)電泵油合成的輕餾份(如CH2等)均有效。
a.液氮擋油阱
液氮冷阱拿獲油蒸氣的原理與放散泵冷相反,也是利用高溫名義來拿獲油蒸氣的。這種阱能夠使返油率升高97%。然而要時(shí)常補(bǔ)給液氮,要不當(dāng)液面升高后,阱的熱度升高,已拿獲的油分子又會(huì)開釋進(jìn)去。鑒于這種起因,工事上運(yùn)用不多。
b.半超導(dǎo)體致冷擋油阱
這種阱致冷原理與半超導(dǎo)體時(shí)差制冷障板相反。那末阱的熱度為-40℃,能夠使返油率升高75%,可見擋油動(dòng)機(jī)不如上述各類冷阱。但這種冷阱操作不便,革除油蒸氣分子輕易,只有將制冷元件反向接通,冷端會(huì)變?yōu)闊岫?把吸附的油蒸氣革除。
羅茨水環(huán)真空機(jī)組、羅茨旋片真空機(jī)組
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